提起(qi)雜質(zhi),人(ren)們就(jiu)會覺著(zhu)是臟的(de)(de),不好(hao)的(de)(de)、有(you)害的(de)(de)東西,其實不同(tong)的(de)(de)雜質(zhi)有(you)不同(tong)的(de)(de)用途,在不同(tong)的(de)(de)地方產(chan)生不同(tong)的(de)(de)影響。雜質(zhi)的(de)(de)定(ding)義是指物(wu)(wu)體(ti)中含有(you)非奔物(wu)(wu)質(zhi)的(de)(de)其他(ta)物(wu)(wu)質(zhi)為(wei)該物(wu)(wu)體(ti)中的(de)(de)雜質(zhi)。
電伴熱晶體管和集成(cheng)電(dian)路的(de)(de)制造,使用的(de)(de)是含(han)有(you)(you)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)的(de)(de)半導體材料(liao)。對于這種材料(liao),其導電(dian)性(xing)能往(wang)往(wang)不(bu)只是決定于本征激發所產(chan)生的(de)(de)載流子(zi),而是決定于材料(liao)中所含(han)有(you)(you)的(de)(de)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi),即決定于雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)的(de)(de)性(xing)質(zhi)和含(han)量(liang)多少。器(qi)件(jian)(jian)(jian)生產(chan)過程中,要遇到各(ge)種雜(za)(za)(za)(za)質(zhi),其中有(you)(you)些雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)對器(qi)件(jian)(jian)(jian)制造有(you)(you)很大的(de)(de)好處(指有(you)(you)目的(de)(de)的(de)(de)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)摻入(ru)),.有(you)(you)些雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)對器(qi)件(jian)(jian)(jian)制造帶來(lai)嚴重的(de)(de)危(wei)害(例(li)如重金屬離子(zi)、鈉(na)離子(zi)、油污(wu)、灰塵等),這些雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)對半導體材料(liao)制備和器(qi)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)生產(chan)有(you)(you)嚴重的(de)(de)破(po)壞性(xing),影響著(zhu)材料(liao)的(de)(de)純度、晶體結構的(de)(de)完(wan)整性(xing)、器(qi)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)性(xing)能和成(cheng)品率。
在(zai)半(ban)(ban)導(dao)(dao)體材料制(zhi)備或器件生產的不同工(gong)(gong)序(xu)中(zhong),同一(yi)種(zhong)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi)的作用也不一(yi)樣(yang)。例如,翻(fan)和(he)(he)礴(bo)這兩種(zhong)元素,各(ge)有(you)(you)(you)不同性質(zhi)(zhi)(zhi)和(he)(he)作用,制(zhi)造n型半(ban)(ban)導(dao)(dao)體時,磷是(shi)重(zhong)要的摻雜(za)(za)(za)(za)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi),硼則成(cheng)(cheng)為有(you)(you)(you)害雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi),在(zai)制(zhi)造P型半(ban)(ban)導(dao)(dao)體時,翻(fan)是(shi)重(zhong)要的摻雜(za)(za)(za)(za)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi),磷則成(cheng)(cheng)為有(you)(you)(you)害雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi)。在(zai)3DK晶體管(guan)生產中(zhong),有(you)(you)(you)金擴散工(gong)(gong)序(xu),金元六是(shi)摻雜(za)(za)(za)(za)的有(you)(you)(you)用雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi),但在(zai)其他晶體管(guan)和(he)(he)集成(cheng)(cheng)電路的生產中(zhong),則要采取一(yi)切措施,避免金的沾污(wu)。因此,某一(yi)種(zhong)雜(za)(za)(za)(za)質(zhi)(zhi)(zhi)是(shi)有(you)(you)(you)益的或是(shi)有(you)(you)(you)害的,要按(an)半(ban)(ban)導(dao)(dao)體材料制(zhi)備和(he)(he)器件的生產需要確定。